?精密电子※厂无尘室有一级、十级、百级、千级、万级、十万级、三十万级之分，在精密电子厂净化装修设计应根据在满足电子产品生产要求的前提▅下合⊙理进行无尘室厂房的装修工程生产设备布局，合理确定各种公用动力设施的技〖术参数，做到能量消耗少、运行费ω 用低、生产效率高和建】设投资。同时还需要合理进行人流路线、物料运输和仓储设施的配置和布置，满足电子产○品无尘室厂房的装修工程生产要求和产品生产工艺要求。此外还︾应该尽可能提升生产设备的自动化水平和物料运输的自动化水平，在经济、实用、安全可靠的条件下提高生产效率。?
1-1、人员净化：净化程序宜按下图布¤置
1-2、洁净室入口宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时，应设气闸▆室；
1-3、单人空气吹淋室，应按较大班人数30人设一台。洁净室人ㄨ员超过5人时，空气吹淋室一侧应设单向旁通门；
1-4、空气№吹淋室的进、出门不得同时开启，应采取连锁控制措施；
1-5、空气洁净度等级为5级或严于5级的→垂直单向流洁净室，宜设气闸室。
2--1、洁净室内的设备和物料出入口，应独立设置，并应根据设备和物料的特征、性质、形状等设置净◥化用室及相应的物净设施。
2-2、物料净化用室与洁净室之间应设置气闸室或传递窗。
3-1、不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于5Pa；
3-2、洁净室与非洁□净室之间的静压差应大于5Pa；
3-3、洁净室与室外的静压差应大于10Pa。
3-4、根据生产要求需设计相应防静电设ㄨ施
温湿度要求：，相对湿度为55+5%。
新风量大：由于这类净化无尘车↓间内人员比较多，可以根据以下数值应取下列的较大值：非单向流净化无尘室车间总送々风量的10-30%，补偿室内排』风和保持室内正压值所需的新鲜空气量，保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3/h。
送风量大：为了满足精密电子无尘净化车间内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风■量，例如300平方米的车间▽，吊顶高度为2.5米，如果是千级净化无尘≡车间，送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数，是≥25次/h)。
压差：主车▂间对相邻房间≥5Pa
换气次数：百级：断面风速0.3-0.5m/s，千级洁净车间50－52次/小时；万级净化车间15－25次/小时；十万级无尘车间10－15次/小时。
压差：主车间对♂相邻房间≥5Pa。
温度:冬季＞16℃±2℃；夏季 ＜26℃±2℃；温度一般为23+2℃
相对湿度：45－65％（RH）。
噪声≤65dB（A）。
新】风补充量：总送风量的20％－30％。
照度：≥300Lux。
电子类产品更新换代速度较快；以TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显◥示器)为代表的平板显示器正在取代彩色显像管显示器；计算机、通信、消费电子和汽车♀电子产品的迅速普及使得各种半导体元器件生产发展十分迅速。因此电子工厂无尘厂房的设计、建造必须适应这︻种快速发展的需要。从无尘厂房的规划开始，对于∮电子工厂无尘厂房的工艺设计、工艺布局应充√分考虑电子产品发展的灵活性，以满足电子产品生产工艺改造和扩大生产的需求。电子无尘厂房形式一般有隧道式、开放式、岛形布置等。据调查表▲明，集成电路芯片制造用无尘室厂房的装修工程一般采用隧道式和开放式，其中隧道式洁净室主要用于5英寸、6英寸芯片制造厂，生产设备横跨洁净生产区和设备维护区，洁净生产区对洁净度要求严格，而设备维护区的空气洁净度等级相对较低。
精密电子无尘车间根据不同级别空气洁净度的空气过滤器的选用、布置要点：对于三十万级空气净化处理，可采用亚高效过滤器代替高效过∑滤器；空气洁净度百级「、千级、万级及十万级的空气净化处理，应采用初、中、高效三级过滤◣器；中效或高效空气过滤器宜按小于或等于额定风量选用；中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节的ζ正压段；高效或亚高效空气过滤器宜设置在净化空∞气调节系统的末端。
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